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Vakuumnaya tehnika i tehnologii (VTT), OOO
+375 (29) 615-46-41
真空安装V-700øELI用于绘制光学覆盖物
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真空安装V-700øELI用于绘制光学覆盖物

有现货 | 批发和零售
牌子:Co Ltd VTT
生产国:白俄罗斯
例如: +375(50)123-45-67
交货:
描述

真空安装是用于通过电子束,磁控管和用低温泵送的基础上初步离子清洁各种材料的电阻蒸发的方法在覆盖物的抽真空。

现在具体安装用于绘制层Auge的-Au以及Ni-Al系由GaAs衬底上。

  • 高真空低温泵的基础上,泵系统。
  • 德国生产提供高可靠性,控制算法灵活变化和替换的控制设施的工业逻辑控制部的基础上 - 泵系统,气动系统,液压系统的管理。
  • 工作场所的经营者,参数的安装和技术设备的方式,蒸发器的电源装置,气体的blousing,石英控制系统的控制 - 在Windows 2000 / XP下的个人计算机的基础上。
  • 系统的Visual C ++环境 - SCADA软件。

技术特性

  • 的腔室的高度为600毫米;
  • 的腔室的直径为640毫米;
  • 工业设备0 ... 20转的旋转频率
  • 工业设备(50个砷化镓板)48件加载;
  • 衬底350℃加热的最高温度;
  • 电力消耗的安装,不超过25千瓦。
  • 限制5个* 10-4帕·残留真空。

结构安装。

 

 

一个数

付款

订购。

名称 数量
1 高真空otkachny上基部模块
低温泵HBK-3,2-AP
1
2。 NVR 25D / ND 200预抽真空部
(安装在德国的泵是可能的
PFEIFFER公司)
1
3。 都250的高真空锁 1
4。 真空腔室的门 1
5。 加热器腔室内 2
6。 工业设备与更换
拱顶
1
7。 电子束蒸发器 1
8。 电阻式蒸发器 1(2)
9。 蚀刻的离子源 1
10。 磁控蒸发器 4
11。 系统液压(SMC) 1
12。 气动系统(SMC) 1
13。 厚度的石英控制的系统
有三个传感器覆盖
1
14。 机架管理 1
15。 机架UELI的食物 1
16。 机架磁控管的电源,源
离子清洁,电阻蒸发器
1

在客户的协调安装可以在产品的工业设备,覆盖物(spektrovizor)光度控制系统,控制系统与绘图覆盖的过程全自动化完成。

特点:
牌子:Co Ltd VTT
生产国:白俄罗斯
颜色:
Information is up-to-date: 19.05.2020
运输方式

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