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Vakuumnaya tehnika i tehnologii (VTT), OOO
+375 (29) 615-46-41
安装真空VTT REZ 700磁控溅射法
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安装真空VTT REZ 700磁控溅射法

区号或者手机号码前三位: VTT 700 REZ
有现货
牌子:Co Ltd VTT
生产国:白俄罗斯
例如: +375(50)123-45-67
交货:
描述

真空安装VTT-700-REZ旨在用于真空磁控方法单方面电阻(RS3710,RS5406)和金属沉积(CR,Ta等)上的基板尺寸薄膜层和60h48h0,5 60h48h1 * * mm,进而在退火400的温度0 ℃。

规格。

1.内部腔室尺寸:Ø650X560毫米。

5×10 2.Predelny残余真空-4在室帕。

3.安装的功耗:

-to-模式泵送至12千瓦;

-to喷涂模式-up 40千瓦(取决于同时使用的光源的数量)

4.磁控管源与电源 - 4件。

5.离子源。

6.工业工具。设置 - 50个,大小或60h48h0,5 60h48h1毫米..

7.背衬单元WU232。

扩散泵LP-400的基础上8. Highvacuum排气单元。

9.快门控制400高真空。

?10,加热器intrachamber,用衬底温度控制到400℃ - 4件。

11.真空传感器:

- PFEIFFER IKR 251

- PFEIFFER PKR 251

- PFEIFFER TPR 280 - 2 PCS。

12.空气的元素的基础上,该系统SMC

13.元件的基础液压的系统,SMC

14.自动送料工艺气体的系统与气体同时操作4

15.根据德国公司WAGO Kontakttehnik GmbH的工业控制器上的控制系统。

16.管理手动和自动。

17.远程访问

18.全自动包衣过程。

 

尊重和希望的合作,公司董事

瓦西利·

联系电话。族:375(29)6154641

SKYPE:vvs_12

-mail一封: vactt@mail.ru

特点:
牌子:Co Ltd VTT
生产国:白俄罗斯
颜色:
Information is up-to-date: 07.09.2020
运输方式

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