Chân không cài đặt V-700 O ELI để vẽ phủ kính quang học

Có sẵn | Wholesale and retail

Thương hiệu:Co Ltd VTT

Sản xuất tại:Belarus

Giao hàng tận nơi:

Customer pickup,
Courier
Chi tiết

Mô tả

cài đặt chân không được thiết kế cho việc vẽ trong chân không của các tấm phủ bằng phương pháp chùm electron, magnetron và bốc hơi điện trở của vật liệu khác nhau với làm sạch ion sơ bộ trên cơ sở bơm đông lạnh.

Trong cài đặt bây giờ cụ thể được sử dụng để vẽ các lớp Auge - Au và Ni - Al trên một chất nền từ GaAs.

Cao chân không hệ thống bơm trên cơ sở của máy bơm đông lạnh.
Quản lý hệ thống bơm, hệ thống khí nén, hệ thống thủy lực - trên cơ sở của bộ điều khiển logic công nghiệp sản xuất của Đức cung cấp độ tin cậy cao, thay đổi linh hoạt các thuật toán điều khiển và thay thế các phương tiện kiểm soát.
Một nơi làm việc của các nhà điều hành, cài đặt các thông số và các phương thức của các thiết bị công nghệ, kiểm soát của các đơn vị cung cấp điện của thiết bị bay hơi, một blousing khí, hệ thống kiểm soát thạch anh - trên cơ sở của máy tính cá nhân trong môi trường Windows 2000 / XP.
Các phần mềm của SCADA - hệ thống trong môi trường Visual C + + .

ĐẶC ĐIỂM KỸ THUẬT

Chiều cao của một buồng là 600 mm;
Đường kính của một buồng là 640 mm;
Tần số quay của thiết bị công nghiệp 0 . . . 20 rpm
Đang tải của thiết bị công nghiệp (đối với tấm 50 GaAs) 48 mảnh;
Nhiệt độ tối đa của nóng của nền 350C;
Sức mạnh tiêu thụ bởi cài đặt, không quá 25 kW.
Hạn chế chân còn lại của 5 * 10 - 4 Pas.

CƠ CẤU LẮP ĐẶT.

Số một thanh toán đặt hàng.	Tên	Định lượng
1	Cao chân otkachny mô - đun trên cơ sở - bơm cryo HBK - 3,2 - AP	1
2.	NVR 25D / NĐ đơn vị 200 forvacuum (Lắp đặt máy bơm của Đức có thể hãng Pfeiffer)	1
3.	khóa cao chân của Du 250	1
4.	buồng chân không với một cửa	1
5.	Nóng là buồng nội	2
6.	thiết bị công nghiệp với thay thế mái vòm	1
7.	Electron chùm thiết bị bay hơi	1
số 8.	thiết bị bay hơi điện trở	1 (2)
9.	nguồn ion khắc	1
10.	magnetron thiết bị bay hơi	4
11.	Hệ thống thủy lực (SMC)	1
12.	Hệ thống khí nén (SMC)	1
13.	Hệ thống kiểm soát thạch anh có độ dày phủ với ba cảm biến	1
14.	Kệ quản lý	1
15.	Kệ thực phẩm của Ueli	1
16.	Kệ cấp điện của magnetron, nguồn làm sạch ion, thiết bị bay hơi điện trở	1

Lắp đặt trong sự phối hợp của khách hàng có thể được hoàn thành với thiết bị công nghiệp dưới sản phẩm, hệ thống kiểm soát trắc quang của các tấm phủ (spektrovizor), một hệ thống điều khiển tự động với đầy đủ các quy trình trải vẽ.

Characteristics:

Thương hiệu:Co Ltd VTT

Sản xuất tại:Belarus

Mầu sắc:Mầu trắng trắng

Information is up-to-date: 22.02.2021