Установка вакуумная VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом
- Самовывоз,
- Курьер
- Детально
Вакуумная установка VTT - 700 - REZ предназначена для напыления в вакууме магнетронным способом односторонних резистивных (РС3710, РС5406) и металлических (Cr, Ta и т. д. ) тонкопленочных слоев на подложки размером 60х48х1 * и 60х48х0,5 * мм с последующим отжигом при температуре 400 0 С.
Технические характеристики.
1. Внутренний размер камеры: Ø650 х 560 мм .
2.Предельный остаточный вакуум 5х10 - 4 Па в камере.
3. Мощность потребляемая установкой :
- в режиме откачки - до 12 кВт;
- в режиме напыления - до 40 кВт (в зависимости от количества одновременно используемых источников)
4. Магнетронный источник с блоком питания - 4шт.
5. Ионный источник.
6. Технологическая оснастка. Комплект - 50 шт. , размер 60х48х0,5 или 60х48х1 мм.
7. Форвакуумный агрегат WU232.
8. Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НД - 400.
9. Затвор высоковакуумный ДУ 400.
10. Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚С - 4шт.
11. Вакуумные датчики:
- PFEIFFER IKR 251
- PFEIFFER PKR 251
- PFEIFFER TPR 280 - 2 ШТ.
12. Система пневматическая на базе элементов SMC
13. Система гидравлическая на базе элементов SMC
14. Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4 газами
15. Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.
16. Управление ручное и автоматическое.
17. Удаленный доступ
18. Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.
С Уважением и надеждой на сотрудничество, директор предприятия
Василий Семенович
тел. моб: 375 (29) 6154641
skype: vvs_12
e - mail: vactt@mail. ru