Установка вакуумная VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом

Вакуумная установка VTT - 700 - REZ предназначена для напыления в вакууме магнетронным способом односторонних резистивных (РС3710, РС5406) и металлических (Cr, Ta и т. д. ) тонкопленочных слоев на подложки размером 60х48х1 * и 60х48х0,5 * мм с последующим отжигом при температуре 400 ⁰ С.

Технические характеристики.

1. Внутренний размер камеры: Ø650 х 560 мм .

2.Предельный остаточный вакуум 5х10 ^{- 4} Па в камере.

3. Мощность потребляемая установкой :

- в режиме откачки - до 12 кВт;

- в режиме напыления - до 40 кВт (в зависимости от количества одновременно используемых источников)

4. Магнетронный источник с блоком питания - 4шт.

5. Ионный источник.

6. Технологическая оснастка. Комплект - 50 шт. , размер 60х48х0,5 или 60х48х1 мм.

7. Форвакуумный агрегат WU232.

8. Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НД - 400.

9. Затвор высоковакуумный ДУ 400.

10. Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚С - 4шт.

11. Вакуумные датчики:

- PFEIFFER IKR 251

- PFEIFFER PKR 251

- PFEIFFER TPR 280 - 2 ШТ.

12. Система пневматическая на базе элементов SMC

13. Система гидравлическая на базе элементов SMC

14. Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4 газами

15. Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.

16. Управление ручное и автоматическое.

17. Удаленный доступ

18. Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.

С Уважением и надеждой на сотрудничество, директор предприятия

Василий Семенович

тел. моб: 375 (29) 6154641

skype: vvs_12

e - mail: vactt@mail. ru