Установки вакуум VTT ПЛАЗМИ м3 IS1 для нанесення покриттів тонкоплівкових Аль субстрат с.
- Самовивіз,
- Кур'єр
- Детально
VTT вакуумний м3 IS1 ПЛАЗМИ для малювання у вакуумні тонкоплівкових покриття Аль на Сі субстрат магнетрон методу з попередня обробка іонним джерелом.
Установка забезпечує рівномірний покриття на одній стороні поверхні пластини, вимірювання 125 мм до 125 мм, плити товщиною 220 ± 20 мкм, під час завантаження 300 продуктів.
Вакуумні блок повинен працювати на роботу сайтів і їх лабораторій при температурі навколишнього середовища від 17 до 25° с, відносна вологість повітря від 40 до 75% і атмосферному тиску 84,0 * 10 - ³ 106.0 * ³ 10 ПА.
Це можна використовувати рослини для нанесення декоративних покриттів на продуктах з різних матеріалів.
З повагою, керівник підприємства
Василь Семенович
Тел. Моб: 375 (29) 6154641
Skype: vvs_12
e - mail: vactt@mail. ru
ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ.
1. розмір внутрішньої камери: D = 1060 мм, H = 2370.
2. максимально Залишкова вакуумні 10 - 4 9 х ПА у клітинці.
3. енергетична установка:
- у режимі перекачування - 12 кВт;
- очищення і покриття до 60 кВт. (залежно від кількості використані джерела)
СКЛАД УСТАНОВКИ.
| № п/п | Ім'я на | Êîë - âî. |
| 1. | Магнетрон джерело з блоку живлення.
Цільова розмір, мм Джерело живлення - розряду струм, не більше, і |
3 шт.
2230 * 100 * 10. 3Шт. 40 |
| 2. | Іонним джерелом
- робоча область, мм - розряду струм, а - робочу напругу, v |
1
2100 * 70 0,7 |
| 3. | Барабанні оснащення.
Кількість одночасно завантажені продукти розмір 125 * 125 мм (варіант оснащення безпосередньо під замовника продуктів) |
2 шт.
300 шт. |
| 4. | Вакуумні підрозділу Okta 500 300/ГЕНИ (ПФАЙФФЕР) | 1 |
| 5. | Vysokovakuumnyj otkachnoj модуль на основі дифузійного насоса NVDM - 400 | 1 |
| 6. | Vysokovakuumnyj затвора Дн 400 з контролю пневматичні і здатність дросельної насосні | 1 |
| 7. | Невід'ємною частиною нагрівачі з температурою субстрат контролювати до 400° c. | 4 |
| 8. | Вакуумні датчиків:
IKR - ПФАЙФЕР 251 PKR - ПФАЙФЕР 251 TPR - ПФАЙФЕР 280 |
1 1 2 |
| 8. | Контроль товщини покриття:
- Кварцовий товщина контролера. Керування опору зразка. |
1 1 |
| 8 | Пневматичні системи на базі SMC елементів | 1 |
| 9 | Гідравлічна система на основі SMC елементів | 1 |
| 10 | Автоматична подачі процес газів системи з можливістю працювати одночасно з 4 - 8 газів | 1 |
