Установки вакуум VTT Крім ПЛАЗМИ для нанесення покриттів тонка плівка
- Самовивіз,
- Кур'єр
- Детально
Вакуумний лінія VTT ПЛАЗМИ Крім призначений для застосування в вакуумні тонкоплівкових покриттів на скло субстрат Cr магнетрон метод з попередня обробка іонним джерелом та опалення.
Установка забезпечує рівномірний покриття товщиною не менше умовно 0,1 мкм, виключає ризик на стороні поверхні пластини розмір 127 мм до 127 мм в розмірі не менше 400 млн штук на завантаження.
Максимальний розмір розпорошується 3650 * 400 мм.
ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ.
1. розмір внутрішньої камери: n = 460 мм, h = 160 мм, L = 8200 мм
2. максимально залишковий вакуумні 8 х 10 - 4 PA.
3. енергетична установка:
- у режимі перекачування - 12 кВт;
- очищення і покриття до 40 кВт. (залежно від кількості використані джерела)
З повагою та надією на співпрацю директор компанії
Василь Семенович
Тел. Моб: 375 (29) 6154641
Skype: vvs_12
e - mail: vactt@mail. ru
СКЛАД УСТАНОВКИ.
| № п/п | Ім'я на | Êîë - âî. |
| 1. | Магнетрон джерело з блоку живлення.
Цільова розмір, мм Джерело живлення - розряду струм, не більше, і |
2 шт.
570 * 80 * 10. 2pcs. 25 |
| 2. | Іонним джерелом
- робоча область, мм - розряду струм, а - робочу напругу, v |
1
500 * 70 0,7 |
| 3. | Оснащення довгий типу.
Кількість одночасно завантажені продукти розмір 400 * 400 - 400 ПК. |
1 компл.
400 ПК. |
| 4. | Вакуумні підрозділу Okta 500 300/ГЕНИ (ПФАЙФФЕР) | 1 |
| 5. | Vysokovakuumnyj otkachnoj модуль на основі дифузійного насоса NVDM - 400 | 1 |
| 6. | Vysokovakuumnyj затвора Дн 400 з контролю пневматичні і здатність дросельної насосні | 1 |
| 7. | Невід'ємною частиною нагрівачі з температурою субстрат контролювати до 400° c. | Двох зон 8 кВт |
| 8. | Вакуумні датчиків:
IKR - ПФАЙФЕР 251 PKR - ПФАЙФЕР 251 TPR - ПФАЙФЕР 280 |
1
1 2 |
| 8 | Пневматичні системи на базі SMC елементів | 1 |
| 9 | Гідравлічна система на основі SMC елементів | 1 |
| 10 | Автоматична подачі процес газів системи з можливістю працювати одночасно з 4 - кільцевої газу | 1 |
| 11 | Система управління на основі промислового контролеру Німецька корпорація WAGO Kontakttehnik GmbH.
Сенсорна панель управління (інтерфейс сенсорного екрану) Управління ручний і автоматичний. Віддалений доступ Повна Автоматизація процесу нанесення покриття. |
1 |
