Установки вакуум VTT 700 REZ для магнетрон напилення метод
- Самовивіз,
- Кур'єр
- Детально
VTT вакуумні блок - 700 - REZ призначені для розпилення вакуумні магнетрон речі односторонні резистивні (RS, RS 3710 5406) і метал (Cr тощо Ta) тонкоплівкових шари на підкладку розміром 60 х 48 х 1 * і 60 х 48 х 0.5 мм з подальшим Відпал при температурі 400 0 С.
Технічні характеристики.
1. розмір внутрішньої камери: Ø 650 х 560 мм.
2 максимально залишковий вакуумні x - 4 ПА.
3. Монтаж: Споживана потужність
- у режимі перекачування до 12 кВт;
- обприскування режимі до 40 кВт (залежно від кількості одночасно використовується оцінюється джерелами)
4. потужність джерела магнетрон 4pc.
5. іонним джерелом.
6. технологічне обладнання. Комплект - 50 шт. , розміром 60 х 48 х 60 х 48 х 1 або 0,5 мм.
7. вакуумні WU232 одиниці.
8. Vysokovakuumnyj otkachnoj модуль на основі дифузійного насоса NA - 400.
9. болт vysokovakuumnyj Дн 400.
10. нагрівачі з невід'ємною контролю субстрат температура до 400 ° c - 4pc.
11. вакуумні датчиків:
IKR - ПФАЙФЕР 251
PKR - ПФАЙФЕР 251
- ПФАЙФЕР TPR 280 - 2 ШТ.
12. пневматичні системи на базі SMC елементів
13. гідравлічна система на основі елементів SMC
14. система автоматичної подачі процес газів з можливістю працювати одночасно з 4 газів
15. контроль системи, заснованої на промислові контролери Німецька корпорація WAGO Kontakttehnik GmbH.
16 Office ручний і автоматичний.
17. віддаленого доступу
18. повної автоматизації процесу покриття.
З повагою та надією на співпрацю директор компанії
Василь Семенович
Тел. Моб: 375 (29) 6154641
Skype: vvs_12
e - mail: vactt@mail. ru
