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Installation à vide V-700 O ELI pour l'élaboration des revêtements optiques
  • Installation à vide V-700 O ELI pour l'élaboration des revêtements optiques
  • Installation à vide V-700 O ELI pour l'élaboration des revêtements optiques

Installation à vide V-700 O ELI pour l'élaboration des revêtements optiques

Disponible | Wholesale and retail
Nom de la marque:Co Ltd VTT
Le pays d'origine:Biélorussie
Livraison:
la description

Installation à vide est prévu pour aspirer sous vide de revêtements par un procédé de faisceau d'électrons, par magnétron et l'évaporation résistive de divers matériaux avec un nettoyage ionique préliminaire sur la base de pompage cryogénique.

Dans l'installation maintenant particulière est utilisée pour les couches de dessin Auge - Au et Ni - Al sur un substrat de GaAs.

  • système de pompage sous vide poussé sur la base de la pompe cryogénique.
  • La gestion du système de pompage, pneumatique du système, système hydraulique - sur la base du contrôleur logique industrielle de la production allemande offrant une grande fiabilité, le changement flexible des algorithmes de contrôle et le remplacement des installations de contrôle.
  • Un lieu de travail de l'opérateur, l'installation des paramètres et des modes de dispositifs technologiques, le contrôle des unités d'alimentation d'évaporateurs, un blousing de gaz, système de contrôle de quartz - sur la base de l'ordinateur personnel sous Windows 2000 / XP.
  • Le logiciel SCADA - système dans l'environnement de Visual C + + .

CARACTÉRISTIQUES TECHNIQUES

  • Hauteur d'une chambre est de 600 mm;
  • Diamètre de la chambre est de 640 mm;
  • Fréquence de rotation de l'équipement industriel 0 . . . 20 tours par minute
  • Chargement de l'équipement industriel (pour des plaques de 50 GaAs) 48 pièces;
  • La température maximale de chauffage de 350 ° C des substrats;
  • La puissance consommée par l'installation, pas plus de 25 kW.
  • Limiter le vide résiduel 5 * 10 - 4 Pas.

STRUCTURE DE L'INSTALLATION.

 

 

Non d'un

Paiement

commande.

Nom Quantité
1 Haut vide otkachny le module sur la base
Pompe cryogénique HBK - 3,2 - AP
1
2. NVR 25D / ND 200 unité de forvacuum
(Installation de pompes de l'Allemand est possible
entreprises) PFEIFFER
1
3. serrure haute vide Du 250 1
4. Chambre à vide avec une porte 1
5. Éléments chauffants sont chambre intra 2
6. L'équipement industriel avec remplaçable
dôme
1
sept. évaporateur à faisceau d'électrons 1
8. évaporateur résistifs 1 (2)
9. source de gravure ionique 1
dix. évaporateur magnétron 4
11. hydraulique du système (SMC) 1
12. Système pneumatique (SMC) 1
13. Système de contrôle de quartz d'épaisseur
revêtements de trois capteurs
1
14. Rack de gestion 1
15. Rack de nourriture de UELI 1
16. Rack d'alimentation de magnétrons source
nettoyage ionique, évaporateur résistif
1

Installation en coordination du client peut être complété par des équipements industriels sous produits, système de contrôle photométrie de revêtements (spektrovizor), un système de contrôle avec une automatisation complète des processus de revêtements de dessin.

Characteristics:
Nom de la marque:Co Ltd VTT
Le pays d'origine:Biélorussie
La couleur:Blanc
Information is up-to-date: 22.02.2021

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Prix ​​incroyable de Installation à vide V-700 O ELI pour l'élaboration des revêtements optiques en Smorgon (L’ Bielorussie) de la compagnie Vakuumnaya tehnika i tehnologii (VTT), OOO.
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