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Instalación de vacío V-700 O ELI para la elaboración de revestimientos ópticos
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Instalación de vacío V-700 O ELI para la elaboración de revestimientos ópticos

Disponibles | Al por mayor y al por menor
Marca:Co Ltd VTT
País fabricante:Bielorrusia
Entrega:
Descripción

instalación de vacío se destina para la elaboración en el vacío de los revestimientos por el método de haz de electrones, magnetrón y la evaporación resistiva de varios materiales con limpieza iónica preliminar sobre la base de bombeo criogénico.

En particular instalación ahora se utiliza para la elaboración de capas Auge - Au y Ni - Al sobre un substrato de GaAs.

  • - Alto vacío sistema de bombeo sobre la base de la bomba criogénica.
  • La dirección del sistema de bombeo, sistema neumático, sistema hidráulico - sobre la base del controlador de lógica industrial de la producción alemana proporcionar una alta fiabilidad, el cambio flexible de los algoritmos de control y la sustitución de las instalaciones de control.
  • Un lugar de trabajo del operador, la instalación de los parámetros y de los modos de dispositivos tecnológicos, el control de las fuentes de alimentación de evaporadores, un barrilete de gases, sistema de control de cuarzo - sobre la base de la computadora personal con Windows 2000 / XP.
  • El software de SCADA - sistema en el entorno de Visual C + + .

CARACTERÍSTICAS TÉCNICAS

  • Altura de una cámara es de 600 mm;
  • Diámetro de una cámara es de 640 mm;
  • La frecuencia del giro de la maquinaria industrial 0 . . . 20 rpm
  • Cargando de equipos industriales (por placas de 50 GaAs) 48 piezas;
  • La temperatura máxima de calentamiento de sustratos 350C;
  • La potencia consumida por la instalación, no más de 25 kW.
  • Límite de vacío residual de 5 * 10 - 4 Pas.

ESTRUCTURA DE LA INSTALACIÓN.

 

 

Nº de una

pago

orden.

Nombre Cantidad
1 - Alto vacío otkachny el módulo en la base
bomba criogénica HBK - 3,2 - AP
1
2. NVR 25D / ND unidad 200 forvacuum
(Instalación de bombas de la alemana es posible
empresas Pfeiffer)
1
3. lock - alto vacío de Du 250 1
4. La cámara de vacío con una puerta 1
5. Calentadores están cámara intra 2
6. equipos industriales con reemplazable
Hazme
1
7. evaporador por haz de electrones 1
8. evaporador resistivo 1 (2)
9. fuente iónica de grabado 1
10. evaporador magnetrón 4
11. hidráulico del sistema (SMC) 1
12. neumático del sistema (SMC) 1
13. Sistema de control de cuarzo de espesor
revestimientos con tres sensores
1
14. Estante de la gestión 1
15. Estante de los alimentos de UELI 1
dieciséis. Estante de fuente de alimentación de magnetrones, fuente
limpieza iónica, evaporador resistivo
1

Instalación en la coordinación del cliente se puede completar con equipos industriales en virtud de productos, sistema de control de fotométrica de revestimientos (spektrovizor), un sistema de control con plena automatización de los procesos de revestimientos de dibujo.

Características:
Marca:Co Ltd VTT
País fabricante:Bielorrusia
Color:Blanco
La información es válida: 22.02.2021

Más detalles

Precio increíble de Instalación de vacío V-700 O ELI para la elaboración de revestimientos ópticos en Smorgon (Bielorrusia) de la empresa Vakuumnaya tehnika i tehnologii (VTT), OOO.
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