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Vakuumnaya tehnika i tehnologii (VTT), OOO
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Vakuumanlage V-700 O ELI für optische Abdeckungen zeichnen
  • Vakuumanlage V-700 O ELI für optische Abdeckungen zeichnen
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Vakuumanlage V-700 O ELI für optische Abdeckungen zeichnen

Vorhanden | im großen und im kleinen
Brandmarke:Co Ltd VTT
Ursprungsland:Weißrussland
Lieferung:
Beschreibung

Vakuumanlage wird zum Zeichnen in Vakuum von Belägen durch Verfahren des Elektronenstrahls, Magnetron und resistive Verdampfens von verschiedenen Materialien mit vorläufiger ionischer Reinigung auf der Basis von kryogenen Pumpen vorgesehen.

Insbesondere wird nun die Installation für das Zeichnen Schichten Auge - Au und Ni - Al auf einem Substrat aus GaAs verwendet.

  • Hochvakuum auf der Basis der Kryopumpe Pumpsystem.
  • Management des Pumpsystems, pneumatisch, hydraulisch System - auf der Grundlage des industriellen logische Controller der deutschen Produktion hohe Zuverlässigkeit, flexible Veränderung der Steueralgorithmen und Austausch von Steuereinrichtungen.
  • Ein Arbeitsplatz des Bedieners, Installation von Parametern und die Modi der technischen Geräte, die Kontrolle der Stromversorgungseinheiten der Verdampfer, einem Aufweitplatten von Gasen, das System der Quarzsteuerung - auf der Grundlage des Personalcomputers unter Windows 2000 / XP.
  • Die Software von SCADA - System in der Umgebung von Visual C + + .

TECHNISCHE EIGENSCHAFTEN

  • Höhe einer Kammer beträgt 600 mm;
  • Der Durchmesser der Kammer ist 640 mm;
  • Die Frequenz des Drehens der Industrieanlagen 0 . . . 20 Umdrehungen pro Minute
  • Laden von Industrieanlagen (für Platten von 50 GaAs) 48 Teile;
  • Maximaltemperatur von Substraten 350C erhitzt;
  • Die verbrauchte Energie durch Installation, nicht mehr als 25 kW.
  • Begrenzt Restvakuum von 5 * 10 - 4 Pas.

AUFBAU DER INSTALLATION.

 

 

Anzahl ein

Zahlung

bestellen.

Name Menge
1 Hochvakuum otkachny das Modul auf Basis
Kryopumpe HBK - 3,2 - AP
1
2. NVR 25D / ND 200 forvacuum Einheit
(Einbau von Pumpen der deutschen möglich
PFEIFFER Firmen)
1
3. Hochvakuumschleuse von Du 250 1
4. Vakuumkammer mit einer Tür, 1
5. Heizungen sind intra Kammer 2
6. Industrieanlagen mit austauschbarem
Kuppel
1
7. Elektronenstrahlverdampfer 1
8. resistive Verdampfer 1 (2)
9. Ionic Quelle Ätzen 1
10. Magnetron Verdampfer 4
11. System Hydraulik (SMC) 1
12. System pneumatisch (SMC) 1
13. System von Quarz Kontrolle der Dicken
Beläge mit drei Sensoren
1
14. Rack - Management 1
15. Rack von Lebensmitteln UELI 1
16. Rack - Stromversorgung von Magnetrons, Quelle
ionische Reinigung, resistive Verdampfer
1

Installation in Koordination des Kunden kann mit industriellen Anlagen unter Produkten, System photometrischer Steuerung von Belägen (spektrovizor), ein Steuersystem mit voller Automatisierung von Prozessen des Zeichnen Beläge abgeschlossen sein.

Eigenschaften:
Brandmarke:Co Ltd VTT
Ursprungsland:Weißrussland
Farbe:weiß
Die Information ist aktuell: 31.03.2020
Beförderungsart

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