BYN
Установка вакуумная vtt plasma м3 is1  для нанесения тонкопленочных покрытий al на подложки из si - Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО Сморгонь (Беларусь) - купить, цена, фото
Premium Business
Отзывов: 0
Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО
+375 (29) 615-46-41
Установка вакуумная VTT PLASMA М3 IS1  для нанесения тонкопленочных покрытий Al на подложки из Si
  • Установка вакуумная VTT PLASMA М3 IS1  для нанесения тонкопленочных покрытий Al на подложки из Si
  • Установка вакуумная VTT PLASMA М3 IS1  для нанесения тонкопленочных покрытий Al на подложки из Si

Установка вакуумная VTT PLASMA М3 IS1 для нанесения тонкопленочных покрытий Al на подложки из Si

В наличии
Бренд:VTT
Страна производитель:Беларусь
Доставка:
Описание

Вакуумная установка VTT PLASMA M3 IS1 для нанесения в вакууме тонкопленочных покрытий Al на подложки из Si магнетронным способом с предварительной очисткой ионным источником.

Установка обеспечивает равномерное нанесение покрытий на одну боковую поверхность пластины, размером 125мм на 125 мм, толщина пластины 220±20µm, при одновременной загрузке 300 изделий.

Вакуумная установка должна эксплуатироваться на производственных участках и в лабораториях при температуре окружающего воздуха от 17 до 25ºС, относительной влажности воздуха от 40 до 75% и атмосферном давлении 84,0*10³ - 106,0*10³Па.

Возможно использование установки для нанесения декоративных покрытий на изделия из различных материалов.

С Уважением, директор предприятия

Василий Семенович

тел. моб:  375 (29) 6154641

skype: vvs_12

e-mail:  vactt@mail.ru

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ.

1. Внутренний размер камеры: D=1060 мм, H=2370.

2. Предельный остаточный вакуум 9х10-4 Па в камере.

3. Мощность, потребляемая установкой:

- в режиме откачки - 12 кВт;

 

- в режиме очистки и нанесения покрытия -до 60 кВт.(в зависимости от количества одновременно используемых источников)

СОСТАВ УСТАНОВКИ.

№ п/п Наименование Кол-во.
1. Магнетронный источник с блоком питания.

Размер мишени, мм

Блок питания

-ток разряда, мах ,А

3 шт.

2230*100*10.

3шт.

40

2. Ионный источник

- рабочая зона, мм

- ток разряда, А

- рабочее напряжение, В

1

2100*70

0.7
3000

3. Технологическая оснастка барабанного типа.

Количество одновременно загружаемых изделий размером 125*125 мм (возможен вариант технологической оснастки непосредственно под изделия заказчика)

2 компл.

300 шт.

4. Форвакуумный агрегат Okta 500 /HENA 300 (PFEIFFER) 1
5. Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НВДМ-400 1
6. Затвор высоковакуумный Ду 400 с пневматическим управлением и возможностью дросселирования откачки 1
7. Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚ С . 4
8. Вакуумные датчики:

- PFEIFFER IKR 251

- PFEIFFER PKR 251

- PFEIFFER TPR 280

1

1

2

8. Контроль толщины покрытий:

- Кварцевый контроллер толщины.

- Контроль сопротивления на образце.

1

1

8 Система пневматическая на базе элементов SMC 1
9 Система гидравлическая на базе элементов SMC 1
10 Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4-8 газами 1
Характеристики:
Бренд:VTT
Страна производитель:Беларусь
Информация актуальна: 08.08.2019
Способы доставки

Подробнее

Установка вакуумная VTT PLASMA М3 IS1 для нанесения тонкопленочных покрытий Al на подложки из Si от компании Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО, Сморгоне (Беларусь). Купить Установка вакуумная VTT PLASMA М3 IS1 для нанесения тонкопленочных покрытий Al на подложки из Si со склада. Цена, фото, условия доставки. Звоните!
LiveInternet