BYN
Установка вакуумная vtt plasma crom для нанесения тонкопленочных покрытий  - Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО Сморгонь (Беларусь) - купить, цена, фото
Premium Business
Отзывов: 0
Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО
+375 (29) 615-46-41
  • Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО
  • Каталог товаров
  • Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий

Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий

Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий
  • Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий
  • Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий
В наличии
Бренд:VTT
Страна производитель:Беларусь
Доставка:
Описание

Вакуумная линия VTT PLASMA CROM предназначена для нанесения в вакууме тонкопленочных покрытий Cr на подложки из стекла магнетронным способом с предварительной очисткой ионным источником и нагревом.

Установка обеспечивает равномерное нанесение покрытий толщиной не менее 0.1 µm на одну боковую поверхность условной пластины, размером 127 мм на 127 мм в количестве не менее 400 шт за одну загрузку.

Максимальный размер напыляемого изделия- 3650*400 мм.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ.

1. Внутренний размер камеры: Н=460 мм, В=160мм, L= 8200 мм

2. Предельный остаточный вакуум 8х10-4 Па в камере.

3. Мощность, потребляемая установкой:

- в режиме откачки - 12 кВт;

- в режиме очистки и нанесения покрытия -до 40 кВт.(в зависимости от количества одновременно используемых источников)

 

С Уважением и надеждой на сотрудничество, директор предприятия

Василий Семенович

тел. моб:  375 (29) 6154641

skype: vvs_12

e-mail: vactt@mail.ru

 

СОСТАВ УСТАНОВКИ.

№ п/п Наименование Кол-во.
1. Магнетронный источник с блоком питания.

Размер мишени, мм

Блок питания

-ток разряда, мах ,А

2 шт.

570*80*10.

2шт.

25

2. Ионный источник

- рабочая зона, мм

- ток разряда, А

- рабочее напряжение, В

1

500*70

0.7
3000

3. Технологическая оснастка протяженного типа.

Количество одновременно загружаемых изделий размером 400*400 - 400 шт.

1 компл.

400 шт.

4. Форвакуумный агрегат Okta 500 /HENA 300 (PFEIFFER) 1
5. Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НВДМ-400 1
6. Затвор высоковакуумный Ду 400 с пневматическим управлением и возможностью дросселирования откачки 1
7. Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚ С . Две зоны по 8 кВт
8. Вакуумные датчики:

- PFEIFFER IKR 251

- PFEIFFER PKR 251

- PFEIFFER TPR 280

1

1

2

8 Система пневматическая на базе элементов SMC 1
9 Система гидравлическая на базе элементов SMC 1
10 Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4-мя газами 1
11 Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.

Сенсорная панель управления (Touch screen interface)

Управление ручное и автоматическое.

Удаленный доступ

Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.

1
Способы доставки
Характеристики:
Бренд:VTT
Страна производитель:Беларусь
Информация актуальна: 18.10.2018

Подробнее

Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий от компании Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО, Сморгоне (Беларусь). Купить Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий со склада. Цена, фото, условия доставки. Звоните!