BYN
Установка вакуумная  vtt 700 rez для напыления магнетронным способом - Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО Сморгонь (Беларусь) - купить, цена, фото
Premium Business
Отзывов: 0
Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО
+375 (29) 615-46-41
  • Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО
  • Каталог товаров
  • Установка вакуумная VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом

Установка вакуумная VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом

Установка вакуумная  VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом
  • Установка вакуумная  VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом
  • Установка вакуумная  VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом
  • Установка вакуумная  VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом
  • Установка вакуумная  VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом
Код: VTT 700 REZ
В наличии
Бренд:VTT
Страна производитель:Беларусь
Доставка:
Описание

Вакуумная установка VTT-700-REZ предназначена для напыления в вакууме магнетронным способом односторонних резистивных (РС3710, РС5406) и металлических (Cr, Ta и т.д.) тонкопленочных слоев на подложки размером 60х48х1* и 60х48х0,5* мм с последующим отжигом при температуре 400 0 С.

Технические характеристики.

1. Внутренний размер камеры: Ø650 х 560 мм .

2.Предельный остаточный вакуум 5х10-4 Па в камере.

3. Мощность потребляемая установкой :

-в режиме откачки-до 12 кВт;

-в режиме напыления -до 40 кВт (в зависимости от количества одновременно используемых источников)

4. Магнетронный источник с блоком питания - 4шт.

5. Ионный источник.

6. Технологическая оснастка. Комплект - 50 шт., размер 60х48х0,5 или 60х48х1 мм.

7. Форвакуумный агрегат WU232.

8. Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НД-400.

9. Затвор высоковакуумный ДУ 400.

10. Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚С - 4шт.

11. Вакуумные датчики:

- PFEIFFER IKR 251

- PFEIFFER PKR 251

- PFEIFFER TPR 280 - 2 ШТ.

12. Система пневматическая на базе элементов SMC

13. Система гидравлическая на базе элементов SMC

14. Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4 газами

15. Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.

16. Управление ручное и автоматическое.

17. Удаленный доступ

18. Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.

 

С Уважением и надеждой на сотрудничество, директор предприятия

Василий Семенович

тел. моб: 375 (29) 6154641

skype: vvs_12

e-mail: vactt@mail.ru

Способы доставки
Характеристики:
Бренд:VTT
Страна производитель:Беларусь
Информация актуальна: 18.10.2018

Подробнее

Установка вакуумная VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом от компании Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО, Сморгоне (Беларусь). Купить Установка вакуумная VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом со склада. Цена, фото, условия доставки. Звоните!