BYN
Установка вакуумная v-700 о eli для нанесения оптических покрытий - Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО Сморгонь (Беларусь) - купить, цена, фото
Premium Business
Отзывов: 0
Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО
+375 (29) 615-46-41
  • Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО
  • Каталог товаров
  • Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий

Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий

Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий
  • Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий
  • Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий
В наличии | Оптом и в розницу
Бренд:VTT
Страна производитель:Беларусь
Доставка:
Описание

Вакуумная установка предназначена для нанесения в вакууме покрытий методом электронно-лучевого, магнетронного и резистивного испарения различных материалов с предварительной ионной очисткой на базе криогенной откачки.

В частности в настоящее время установка используется для нанесения слоев АuGe-Аu и Ni-Аl на подложке из GaAs. Высоковакуумная откачная система на базе криогенного насоса. Управление откачной системой, системой пневматической, системой гидравлической-на базе промышленного логического контроллера немецкого производства, обеспечивающего высокую надежность, гибкое изменение алгоритмов управления и замену средств управления. Рабочее место оператора, установки параметров и режимов технологических устройств, управление блоками питания испарителей, напуска газов, системой кварцевого контроля - на базе персонального компьютера под Windows 2000/XP. Программное обеспечение SCADA - системы в среде Visual С++ .

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Высота камеры 600мм;
Диаметр камеры 640мм;
Частота вращения технологической оснастки 0...20 об/мин
Загрузка технологической оснастки (для пластин 50 GaAs) 48 шт;
Максимальная температура нагрева подложек 350С;
Мощность, потребляемая установкой, не более 25 кВт.
Предельный остаточный вакуум 5*10-4 Па.

СОСТАВ УСТАНОВКИ.

№ п/п. Наименование Количество
1 Высоковакуумный откачной модуль на базе
криогенного насоса НВК-3,2-А-Р
1
2. Форвакуумный агрегат НВР 25Д/НД 200
(возможна установка насосов немецкой
фирмы PFEIFFER)
1
3. Высоковакуумный затвор Ду 250 1
4. Камера вакуумная с дверью 1
5. Нагреватели внутрикамерные 2
6. Технологическая оснастка со сменным
куполом
1
7. Электронно-лучевой испаритель 1
8. Резистивный испаритель 1(2)
9. Ионный источник травления 1
10. Магнетронный испаритель 4
11. Система гидравлическая (SMC) 1
12. Система пневматическая (SМС) 1
13. Система кварцевого контроля толщины
покрытий с тремя датчиками
1
14. Стойка управления 1
15. Стойка питания УЭЛИ 1
16. Стойка питания магнетронов, источника
ионной очистки, резистивного испарителя
1

Установка по согласованию заказчика может комплектоваться технологической оснасткой под изделия, системой фотометрического контроля покрытий (спектровизор), системой управления с полной автоматизацией процессов нанесения покрытий.

 

С Уважением, директор предприятия

Василий Семенович

тел. моб: 375 (29) 6154641

skype: vvs_12

e-mail: vactt@mail.ru

Способы доставки
Характеристики:
Бренд:VTT
Страна производитель:Беларусь
Информация актуальна: 18.10.2018

Подробнее

Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий от компании Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО, Сморгоне (Беларусь). Купить Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий со склада. Цена, фото, условия доставки. Звоните!