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Installation von Vakuum VTT 700 REZ für Magnetron-Sputter-Methode
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Installation von Vakuum VTT 700 REZ für Magnetron-Sputter-Methode

Kode: VTT 700 REZ
Vorhanden
Brandmarke:VTT
Ursprungsland:Weißrussland
Lieferung:
Beschreibung

VTT Vakuum Einheit-700-REZ entwickelt zum versprühen in Vakuum Magnetron Weise einseitige resistiven (RS, RS 3710 5406) und Metall (Cr, Ta etc.) Dünnschicht-Schichten auf Substrat Größe 60 x 48 x 1 * und 60 x 48 x 0,5 mm mit anschließenden Glühen bei einer Temperatur von 400 0 С.

Technischen Eigenschaften.

(1) die internen Kamera-Größe: Ø 650 x 560 mm.

(2) die maximale passives Vakuum X-4 PA.

3. Installation: Leistungsaufnahme

-im Modus-Pumpen-bis zu 12 kW;

-Spritzen-Modus-bis zu 40 kW (abhängig von der Anzahl der gleichzeitig verwendeten Quellen)

(4) Stromquelle Magnetron-4pc.

5. die Ionenquelle.

6. technische Ausstattung. Kit-50 Stk., Größe 60 x 48 x 60 x 48 x 1 oder 0,5 mm.

(7) Vakuum Einheit WU232.

8. Vysokovakuumnyj Otkachnoj Modul anhand der Diffusionspumpe NA-400.

9. Schrauben Sie Vysokovakuumnyj DN 400.

10.-Heizungen mit fester Kontrolle Substrattemperatur bis zu 400 ° c-4pc.

11. Vakuum Sensoren:

-PFEIFFER ENTFALLEN 251

-PFEIFFER PKR 251

-PFEIFFER TPR 280-2 STK.

12. pneumatische System auf Basis der SMC Posten

13. hydraulisches System basierend auf den Elementen von SMC

14. das System automatische Ablage Prozessgase mit der Fähigkeit, mit 4 Gase gleichzeitig arbeiten

15. Kontrolle System basierend auf Industrieregler German Corporation WAGO Kontakttehnik GmbH.

16. die Office manuell und automatisch.

17. remote-Zugriff

18. die Vollautomatisierung der Beschichtungsprozess.

Unternehmen Sie mit Respekt und Hoffnung auf eine Zusammenarbeit Direktor

Vasiliy Semenovich

Tel. Mob: 375 (29) 6154641

Skype: vvs_12

E-Mail: vactt@mail.ru

Eigenschaften:
Brandmarke:VTT
Ursprungsland:Weißrussland
Die Information ist aktuell: 25.06.2019
Beförderungsart

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